半导体巨头英特尔拿下艾司摩尔首台最新型“High-NA EUV”订单，成为这款高数值孔径极紫外光微影系统的买家。然而，竞争对手台积电仍没有动作。台积电高层表示，台积电A16先进制程节点不一定需要这部机器，原因竟是价格“太贵了”。

　　外媒报导，台积电业务开发资深副总经理暨副共同营运长张晓强，日前在阿姆斯特丹的一场技术研讨会上直言：“我喜欢High-NA EUV的能力，但我不喜欢它的标价”。

　　据了解，这款新设备虽然有助于将芯片设计缩小高达三分之二，但售价高达3.5亿欧元，远高于ASML一般常规EUV机器2亿欧元的价格。

　　据悉，这款最新型高数值孔径EUV光刻机“High-NA EUV”的造价成本超过3亿美元，可满足一线芯片制造商的需求，在未来十年内能够制造出更小、更好的芯片。然而，面对如此高昂的价格，台积电似乎并不急于抢购。